SuperView W1白光干涉儀——微觀形貌測量利器
2021-08-11
近年來,在新興技術(shù)的高速發(fā)展和強力推動下,超精密加工技術(shù)不斷發(fā)展和進步。微機電系統(tǒng)、微光學元件等微觀結(jié)構(gòu)的制造與發(fā)展,對微結(jié)構(gòu)表面形貌測量的高精度和高可靠性等要求日漸提高。表面形貌不僅對接觸部件的機械與物理特性產(chǎn)生影響,而且也會影響非接觸表面的特性,如光學器件的反射等等。對結(jié)構(gòu)的測量是對結(jié)構(gòu)加工的先決條件和質(zhì)量保證,所以表面形貌的測量在材料和工程零部件的屬性和功能方面起著至關(guān)重要的作用,由此對于微納結(jié)構(gòu)的測量方法精度要求越來越高,表面形貌測量技術(shù)在技術(shù)成熟方面和應(yīng)用范圍方面都...