NS系列半導(dǎo)體臺階高度測量儀器可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、MEMS、光學加工等領(lǐng)域。
VT6000高精度共聚焦顯微鏡基于共聚焦技術(shù),結(jié)合精密Z向掃描與智能3D建模算法,可實現(xiàn)對納米至微米級表面形貌的高精度測量,覆蓋光滑、粗糙、低反射至高反射等多樣化材料表面。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、3C電子、汽車零部件、航空航天、MEMS器件等超精密加工領(lǐng)域,助力企業(yè)提升質(zhì)量控制效率與產(chǎn)品研發(fā)能力。
CEM3000實驗室臺式掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。臺式結(jié)構(gòu)節(jié)省空間,可置于桌面或狹小環(huán)境(如手套箱、車廂)。
NS系列半導(dǎo)體臺階儀應(yīng)用場景適應(yīng)性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,可測量沉積薄膜的臺階高度、抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度等。
CEM3000系列高易用性掃描電鏡高易用性快速成像、一鍵成片,無需過多人工調(diào)節(jié)。具有出色的電子光學系統(tǒng),優(yōu)于4nm的空間分辨率,保證了高放大倍數(shù)下的清晰成像,能夠滿足納米尺度的形貌觀測需求。
CEM3000抗振防磁掃描電鏡可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中,該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù),展現(xiàn)出色的性能。也可通過加裝各類探頭和附件,滿足用戶的拓展性需求,這使其在材料科學、生命科學、納米技術(shù)、能源等多個領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
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