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共聚焦顯微鏡利用照明點(diǎn)與探測(cè)點(diǎn)共軛特性，可有效抑制同一焦點(diǎn)平面上非測(cè)量點(diǎn)的雜散熒光及來(lái)自樣品中非焦平面的熒光，從而獲得普通光鏡無(wú)法達(dá)到的分辨率。VT6000激光共聚焦掃描顯微鏡對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

中圖儀器VT6000系列3d成像共聚焦測(cè)量顯微鏡在材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中，在陶瓷、金屬、半導(dǎo)體、芯片等材料科學(xué)及生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中也具有廣泛的應(yīng)用。例如，鋼的鑄造組織一般比較粗大，可直接用共聚焦顯微鏡進(jìn)行觀察，同時(shí)可以利用其模擬微合金鋼在不同冷卻工藝下的凝固以及奧氏體不銹鋼的敏化過(guò)程，原位觀察過(guò)程中樣品表面的變化及與第二相析出情況。

VT6000系列光學(xué)納米共聚焦顯微鏡利用照明點(diǎn)與探測(cè)點(diǎn)共軛特性，可有效抑制同一焦點(diǎn)平面上非測(cè)量點(diǎn)的雜散熒光及來(lái)自樣品中非焦平面的熒光，從而獲得普通光鏡無(wú)法達(dá)到的分辨率。在相同物鏡放大的條件下，共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，橫向分辨率更高。

在材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中，VT6000激光共聚焦顯微鏡在陶瓷、金屬、半導(dǎo)體、芯片等材料科學(xué)及生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中也具有廣泛的應(yīng)用。例如，鋼的鑄造組織一般比較粗大，可直接用共聚焦顯微鏡進(jìn)行觀察，同時(shí)可以利用其模擬微合金鋼在不同冷卻工藝下的凝固以及奧氏體不銹鋼的敏化過(guò)程，原位觀察過(guò)程中樣品表面的變化及與第二相析出情況。

VT6000系列3D成像共聚焦顯微鏡具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能以及自動(dòng)拼接功能，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量。具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，一體化操作的測(cè)量與分析軟件，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能。

中圖儀器共聚焦光學(xué)顯微鏡VT6000以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成測(cè)量系統(tǒng)。是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析。