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SuperViewW白光干涉輪廓形貌粗糙度測量儀復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。

中圖儀器NS系列柔性電子器件薄膜測量臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

VT6000共聚焦三維光學(xué)輪廓顯微鏡具有直觀測量的特點(diǎn)，能夠有效提高工作效率，更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù)。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率，實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的操作。

微觀二維形貌輪廓臺階儀工作時(shí)，觸針沿被測表面輕輕滑過，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)還沿峰谷作上下運(yùn)動。觸針的運(yùn)動情況就反映了表面輪廓的情況。

SuperViewW國產(chǎn)白光顯微干涉三維形貌檢測儀可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

NS系列探針式膜層厚度表面粗糙度臺階儀可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。樣品適應(yīng)面廣，對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。